|
|
|
|
|
Направления научной деятельности - Моделирование процессов в плазме магнетронного разряда
- Моделирование процессов реактивного магнетронного напыления
- Диагностика плазмы оптическими и зондовыми методами
|
|
|
Основные результаты научной деятельности - Разработана модель критической электронной эмиссии из диэлектрика в вакуум при инжекции наносекундного пучка электронов высокой плотности тока
- Разработана методика обработки вольт-амперных характеристик двойного зонда Ленгмюра и определения параметров плазмы при близких частотах зонда и магнетронного источника
- Разработан метод определения температуры и концентрации электронов в плазме магнетронного разряда, основанный на сравнении данных оптической спектроскопии и результатов расчетов по столкновительно-излучательной модели
|
|
 |
|
|
|
|
Расписание
