2008-2009 – ФЦП «Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2007-2012 годы: НИР «Нанокластерированные ферромагнитные материалы для приборов полупроводниковой спиновой наноэлектроники» 2011 – НИР 02.08.2011 «Разработка и изготовление несбалансированных магнетронных распылительных систем» 2012-2013 Грант президента РФ «Явления тепломассопереноса в задачах модифицирования свойств поверхности потоками заряженных частиц» РФФИ №12-08-31437 «Структура энергобаланса системы «поток заряженных частиц - мишень» и ее связь с параметрами эрозии облучаемой поверхности» РФФИ №13-08-00429 «Исследование фундаментальных аспектов диссипации энергии и переноса вещества в магнетронных распылительных системах с жидкофазными мишенями» РФФИ №15-08-01632 «Фундаментальные свойства механизмов высокоскоростного осаждения функциональных наноструктурных покрытий с использованием плазмы магнетронных распылительных систем» РНФ №15-19-00026 «Создание оборудования и технологий высокоскоростного осаждения металлических покрытий с использованием магнетронных распылительных систем (МРС)»
Расписание
