Кривобоков В.П., Юрьева А.В., Юрьев Ю.Н., Янин С.Н. Дуальная магнетронная распылительная система. Патент РФ №2371514, Пр.20.08.2008. ПМК С23С 14/35. Опубл. 27.10.2009. Бюлл. №30.