|
|
|
|
|
Лаборатория №23
|
|
|
|
|
|
- Кривобоков В.П., Баинов Д.Д., Асаинов О.Х. Устройство для транспортировки подложек в вакуумной установке. – Патент РФ № 143848 Приоритет от 28.01.2014. МПК С23С 14/50; С23С 14/56. Опубл. 10.08.2014 бюлл. № 22.
- Кривобоков В.П., Кузьмин О.С., Легостаев В.Н. Магнетронная распылительная система: Патент на изобретение № 2107970 (РФ). Приоритет от 13.12.1995. МКИ H01J37/317,37/34, С23С11/35 . Опубл. 27.03.1998. Бюлл. № 9.
- Ананьин П.С., Кривобоков В.П., Кузьмин О.С., Легостаев В.Н. Магнетронная распылительная система: Патент на изобретение № 2107971 (РФ). Приоритет от 09.07.98. МКИ H01J37/317,37/34, С23С11/35. Опубликован 27.03.98. Бюлл. №9.
- Ананьин П.С., Асаинов О.Х., Зубарев С.М., Кривобоков В.П., Кузьмин О.С. Установка для нанесения тонкослойных покрытий: Патент на изобретение № 2138094 (РФ). Приоритет от 4.02.1997. МКИ H01J37/317, C23C 14/35. Опубл. 20.09.99. Бюлл. №26.
- Ананьин П.С., Косицын Л.Г., Кривобоков В.П., Кузьмин О.С., Легостаев В.Н. Магнетронная распылительная система: Патент на изобретение № 2151439 (РФ) Приоритет от 12.03.98. МКИ H01J37/317,37/34. Опубл. 20.06.2000. Бюлл. №17.
- Жуков В.В., Кривобоков В.П., Янин С.Н. Магнетронная распылительная система: Патент на изобретение №2220226 (РФ) Приоритет от 12.04.2002. МКИ C 23 C 14/35. Опубл. 27.12.2003. Бюлл. №36.
- Кривобоков В.П. Легостаев В.Н. Способ изготовления гибкой зеркально отражающей структуры и структура, полученная этим способом: Патент на изобретение №2235802 (РФ) Пр. от 24.03.2003. МПК C 23 C 14/06, F 21 V 7/22. Опубл. 10.09.2004. Бюлл. №25.
- Кривобоков В.П., Асаинов О.Х., Ананьин П.С., Легостаев В.Н., Михайлов М.Н., Баинов Д.Д., Юдаков С.В., Зоркальцев А.А., Пащенко О.В., Косицын Л.Г. Устройство для нанесения многослойных токопроводящих покрытий на изделия из диэлектрических материалов и источник ионов для него: Патент на изобретение №2261289 (РФ). Приоритет от 8.06.2004. МПК С23 С14/35. Опубл. 27.09.2005 Бюлл. №27.
- Михайлов М.Н., Кривобоков В.П., Легостаев В.Н. Способ и устройство для нанесения многослойных покрытий на листовое стекло. Патент РФ №2297988. Пр.16.11.2005. МПК С03С 17/36(2006.01); С03С 17/09 (2006.01); С03С 17/245 (2006.01); С23С 14/56 (2006.01). Опубл. 27.04.2007 Бюлл. №12.
- Кривобоков В.П., Юрьева А.В., Юрьев Ю.Н., Янин С.Н. Дуальная магнетронная распылительная система. Патент РФ №2371514, Пр.20.08.2008. ПМК С23С 14/35. Опубл. 27.10.2009. Бюлл. №30.
|
|
|
|
|
|
