|
|
|
Лаборатория №23
|
|
|
|
|
|
Лаборатория 23 ФТИ была создана 20 февраля 1986 г. и специализируется на изучении процессов взаимодействия радиационных полей и потоков плазмы с твердым телом. Подразделение занималось решением проблемы повышения радиационной стойкости изделий электронной техники космических летательных аппаратов, а позднее инициировало работы по технологическому применению пучков заряженных частиц и плазмы, которые в настоящее время являются главными в тематике лаборатории. Основные направления научных исследований коллектива: - диссипация энергии мощных импульсных пучков заряженных частиц в твердом теле, перенос вещества, эрозия поверхности и другие процессы, вызванные высокоинтенсивным облучением;
- исследование поведения физических свойств поверхности твердого тела, обработанного ионным пучком или плазмой;
- разработка радиационных и плазменных технологий обработки материалов;
- разработка, изготовление и внедрение в производство автоматизированных промышленных установок для нанесения многослойных теплоотражающих покрытий на поверхность материалов и изделий с помощью плазмы магнетронного разряда и ионных пучков.
Все разработанные установки по назначению условно можно разделить на две категории: лабораторные и промышленные. Лабораторные установки – небольшие по габаритам машины, предназначенные для решения широкого круга задач: отработки технологических процессов, исследования режимов нанесения плазменных покрытий, изучения функциональных возможностей перспективных конструкций узлов и деталей, изготовления опытных образцов продукции, мелкосерийных партий продукции и т.д. Промышленные предназначены для серийного производства в промышленных отраслях. Им свойственны большие размеры обрабатываемых изделий, высокая производительность, специализированные системы управления и т.д. Опыт лаборатории свидетельствует, что в промышленно-развитых странах есть спрос на плазменные технологии и установки и он должен быть удовлетворён. Установки магнетронного распыления, разработанные и изготовленные в лаборатории, эксплуатируются в России, странах СНГ, Чехии, Японии, Южной Корее. Среди выполненных проектов по разработке и внедрению установок в промышленные отрасли можно выделить следующие: - Фирма "Технотон" (г. Томск) – одна магнетронная установка типа УВНП (1991 г.).
- Бийская мебельная фабрика (г. Бийск Алтайского края) – магнетронная установка типа "Аметист" (1993).
- АО "Сибстекло" (г. Анжеро-Судженск Кемеровской области) –магнетронная установка типа "Аметист-3" (1993 г.).
- Токмакский стекольный завод (г. Токмак, Киргизия) – две магнетронные установки типа "Аметист-3" (1994 г.).
- АО "Салаватстекло" (г. Салават, Башкирия) – комплект магнетронных источников плазмы со всем сопутствующим оборудованием (1994 г.).
- Фирма "Отражение" (г. Новосибирск) – комплект магнетронного оборудования (1996 г.).
- Объединение "Алтаймебель" (г. Барнаул) – комплект магнетронного оборудования для модифицирования оптических свойств стекла (1997 г.).
- НИИ ПП (г. Томск) – комплект магнетронного оборудования для нанесения танталовых покрытий на поверхность диэлектриков (1998 г.).
- Фирма СВЕТУС (г. Омск) – две магнетронных установки по напылению металлических покрытий (2000 и 2003 г.г.).
- Фирма Preciosa (Чехия) – комплект оборудования (магнетроны, ионные источники) для обработки поверхности твердых тел (2001 г.).
- Компания ITAC Co., Ltd (Япония) – лабораторная установка (Яшма-1) (1999 г.).
- Компания ITAC Co., Ltd (Япония) – высокочастотная магнетронная установка (2000 г.).
- Институт прикладной физики СО РАН (г. Новосибирск) – промышленная магнетронная система «Опал-2» (2001 г.).
- Фирма «Гратон», г. Москва – промышленная магнетронная система «Опал-1» (2002 г.).
- ОАО «Катод», г. Новосибирск. Ионный источник с замкнутым дрейфом электронов. (2002 г.).
- Компания Sunic System Co., Ltd (Ю. Корея) – один комплект магнетронного оборудования (2002 г.).
- Компания Plasma Tech. Co., Ltd (Ю. Корея) – промышленная магнетронная установка «Опал-3Про» (2003 г.).
- Комплект оборудования (ионные источники) для компании Platech Co., Ltd, Южная Корея (2005 г.).
- Фирма ITAC Ltd. (Япония). Магнетронная распылительная система для использования в условиях пониженного давления рабочего газа (2005 г.)
- ОАО «Информационные спутниковые системы» (г. Железногорск, Красноярского края). Установка АРМ НТП-2 (автоматизированное рабочее место НТП-2), предназначена для нанесения теплоотражающих покрытий на поверхность космических летательных аппаратов (2007).
- ОАО «Катод», г. Новосибирск. Комплект оборудования (малогабаритные магнетроны и оснастка к ним). (2008).
- ОАО «Информационные спутниковые системы» (г. Железногорск, Красноярского края). Установка АРМ УВК (автоматизированное рабочее место «Универсальный вакуумный комплекс»), предназначена для нанесения плазменных покрытий на элементы космических летательных аппаратов (2008).
- ИФПМ СО РАН, г. Томск. ВЧ-установка для осаждения кальций-фосфатных покрытий (2009).
- ГИРЕДМЕТ, г. Москва. ВЧ-установка для осаждения ферромагнитных полупроводниковых пленок (2009).
- ОАО «Информационные спутниковые системы» (Железногорск). Комплект оборудования для металлизации крупногабаритных рефлекторов КО МКР (2010).
- ОАО «Информационные спутниковые системы» (г. Железногорск, Красноярского края). Установка РМ РТП (2011).
- ОАО «Информационные спутниковые системы» (г. Железногорск, Красноярского края). Установка РМ РРП (2012).
|
|
Стратегические партнеры лаборатории: - Институт сильноточной электроники СО РАН, г. Томск;
- Институт теплофизики им. Кутателадзе Сибирского отделения Российской академии наук, г. Новосибирск;
- ОАО "Информационные спутниковые системы" им. академика Решетнёва, г. Железногорск Красноярского края.
За 28 лет существования лаборатория запатентовала более 20 технологий и установок. Ежегодно лаборатория становится победителем различных международных конкурсов и инновационных выставок, награждается золотыми и серебряных медалями, ее проекты неоднократно признавались РАН лучшими научно-техническими разработками года в России. В 2012 г. установка «Яшма» – оборудование и технологии для осаждения плазменных покрытий – вошла в рейтинг самых продаваемых научных разработок ТПУ. В составе научного коллектива – 24 сотрудника, из них – 3 доктора, 5 кандидатов наук, 4 аспиранта. Кроме того, в лаборатории постоянно работают инженеры-совместители (привлечённые для решения конкретных задач). 1 июня 2010 г. в соответствии с утвержденной приказом Минобрнауки от 17 ноября 2009 г. № 613 Программой развития ГОУ ВПО "Томский политехнический университет" на 2009-2018 годы лаборатория была выведена из структуры НИИ ЯФ и введена в состав Физико-технического института (ФТИ). С 01.01.2013 г. согласно приказу 95/од от 12.12.2012г. лаборатория №23 входит в состав кафедры водородной энергетики и плазменных технологий ТПУ.
|
|
Вакуумная ионно-плазменная установка «Яшма-1»
|
|
Вакуумная ионно-плазменная установка «Яшма-3» Установка АРМ НТП-2
|
|
Вакуумная установка для нанесения низкоэмиссионных покрытий на листовое стекло «Опал -3PRO»
|
|
Комплект оборудования для металлизации крупногабаритных рефлекторов КО МКР
|
|
Комплект оборудования для металлизации крупногабаритных рефлекторов КО МКР
|
|
Автоматизированное рабочее место «Универсальный вакуумный комплекс» АРМ УВК
|
|
Вакуумная ионно-плазменная установка «Яшма-4»
|
|
Технологическая линия на базе установки "Опал-3 ПРО"
|
|
Внешний вид установки "Аметист-1"
|
|
|
|