Установки для получения покрытий:

• Модифицированная установка ВЧ-магнетронного напыления 08ПХО-100T-005 .
• Установка среднечастотного магнетронного распыления.

Приборы и установки для анализа свойств покрытий:

• Профилометр-профилограф Talysurf Model 120 stylus profiler.
• Микроскоп-нанотвердомер «НаноСкан».
• Оптический эмиссионный спектрометр Avaspec 3648.
• Спектральный эллипсометрический комплекс ЭЛЛИПС-1891 САГ.
• Спектрометр AvaSpec 2048.
• Установка измерения поверхностной энергии Kruess.
• Цифровой адгезиометр фирмы Positest(AT).