
Назначение и область применения Анализ элементного состава поверхностных слоев материалов. Исследование профилей концентрации элементов по глубине в соединениях, сплавах, тонкопленочных структурах и на границах раздела. Исследование диффузионных процессов. Определение толщин пленок и толщин границ раздела между тонкими пленками. Измерение энергетических положений остовных уровней атомов и исследование энергетических сдвигов уровней при переходе от объема к поверхности. Исследование изменений плотности электронных состояний в валентной зоне в зависимости от видов химических связей и количества, входящих в эти связи элементов. Исследование переноса заряда с атома на атом при образовании между ними химической связи. Материаловедение, машиностроение, экология, медицина, археология, метрология, криминалистика.
|
|
|

Методика измерения В основе метода электронной Ожэ - спектрометрии лежат процессы ионизация внутренних уровней атома бомбардирующими электронами с выходом Оже - электрона и его последующей регистрации при помощи электронного спектрометра. Оже - переходы осуществляются между определенными энергетическими уровнями и покидающий атом Оже-электрон обладает характерной для данного атома энергией. Технические характеристики
Разрешение по глубине, нм | 0,5-1,0 | Чувствительность, % ат | 0,1 – 0,5 | Чувствительность по поверхностной концентрации, ат/см2 | 1012-1013 |
|
|
|