Количество записей: 1
Study on the influence of the magnetron power supply on the properties of the Silicon Nitride films / D. V. Kiseleva [et al.] // URL: http://dx.doi.org/10.1088/1742-6596/789/1/012028
2013- © Национальный исследовательский Томский политехнический университет При полном или частичном использовании текстовых и графических материалов ссылка на сайт обязательна