| 1. Егоров В.А., Оптические и щуповые приборы для измерения шероховатости поверхности, 2 изд., М., 1965.
2. Карташев А.И., Шероховатость поверхности и методы ее измерения, М., 1964.
3. Спринг, С. Очистка поверхности металлов [Текст]: пер. с англ. / С. Спринг. - М.: Мир, 1966. - 349 с.: ил. - 1.40 р.
4. Ультразвуковая технология / под ред. Б.А. Аграната. – 1-е изд. – М.: Издательство «Металлургия», 1974. – 503 с.
5. Юрьева А.В. Расчёт вакуумных систем: учебное пособие/ А.В. Юрьева; Томский политехнический университет. – Томск: Изд-во Томского по-литехнического университета, 2012. – 114 с.
6. Винарский, В. А. Масс-спектрометрия и хромато-масс-спектральный анализ: пособие / В. А. Винарский, Р. А. Юрченко. – Минск: БГУ, 2013. – 135 с.
7. Кривобоков В.П. Радиационные и плазменные технологии: терминологический справочник, – Новосибирск: Наука, 2010.
8. Кривобоков В.П., Сочугов Н.С., Соловьёв А.А. Плазменные покрытия (методы осаждения и оборудование). Учебное пособие для магистрантов. - Томск: Изд-во Томского политехнического университета, 2008.
9. Кривобоков В. П., Сочугов Н. С., Соловьев А. А. Плазменные покрытия (свойства и применение): Учебное пособие. - Томск: ТПУ, 2011 - 136 с.
10. Берлин Е.В., Сейдман Л.А. Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением. М.: Техносфера, 2014. - 256 с.
11. Кузьмичев А.И. Магнетронные распылительные системы. Кн. 1. Введение в физику и технику магнетронного распыления.
12. Духопельников Д.В. Магнетронные распылительные системы. Часть 1. «Устройство, принципы работы, применение».
13. Кварцевый измеритель толщины плёнок «Микрон-7» [Электронный ресурс]. – Режим доступа: http://www.izovac.com/uploads/userfiles/files/micron_7.pdf (Дата обращения 20.07.2021).
|
Расписание
