По техническим причинам добавление новых публикаций временно недоступно.
Aluminum films deposition by magnetron sputtering systems: Influence of target state and pulsing unit / D. V. Sidelev [et al.] // Journal of Physics: Conference Series [Electronic resource ]. — 2016 . — Vol. 741 : Optoelectronics, Photonics, Engineering and Nanostructures (Saint Petersburg OPEN 2016) . — [012193, 5 p.] . — Title screen. — [References: 13 tit.]..
Юрьева, Алена Викторовна. Магнетронная распылительная система с жидкофазной мишенью = Magnetron sputtering system with a liquid phase target / А. В. Юрьева // Современные научные исследования и инновации научно-практический журнал: . — 2015 . — № 4 . — Заглавие с экрана. — [Библиогр.: 5 назв.]..
Блейхер, Галина Алексеевна. Тепловые процессы и эмиссия атомов с поверхности жидкофазной мишени магнетронной распылительной системы / Г. А. Блейхер, В. П. Кривобоков, А. В. Юрьева // Известия вузов. Физика научный журнал: / Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ) . — 2015 . — Т. 58, № 4 . — [С. 3-8] . — Заглавие с экрана. — [Библиогр.: с. 8 (9 назв.)]. — Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса..
Блейхер, Галина Алексеевна. Магнетронное осаждение покрытий с испарением мишени / Г. А. Блейхер, В. П. Кривобоков, А. В. Юрьева // Журнал технической физики . — 2015 . — Т. 85, вып. 12 . — [С. 56-61] . — Заглавие с экрана. — [Библиогр.: с. 61 (12 назв.)]. — Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса..
Bleykher (Bleicher), Galina Alekseevna. Thermal processes and emission of atoms from the liquid phase target surface of a magnetron sputtering system / G. A. Bleykher (Bleicher), V. P. Krivobokov, A. V. Yuryeva // Russian Physics Journal . — 2015 . — Vol. 58, № 4 . — [P. 431-437] . — Title screen. — [References: p. 437 (9 tit.)]. — Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса..
Bleykher (Bleicher), Galina Alekseevna. Magnetron deposition of coatings with evaporation of the target / G. A. Bleykher (Bleicher), V. P. Krivobokov, A. V. Yuryeva // Technical Physics . — 2015 . — Vol. 60, №12 . — [P. 1790-1795] . — Title screen. — [References: 12 tit.]. — Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса..
Юрьева, Алена Викторовна. Введение в плазменные технологии и водородную энергетику : учебное пособие [Электронный ресурс] / А. В. Юрьева, А. Н. Ковальчук; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ). — 1 компьютерный файл (pdf; 1.9 MB). — Томск: Изд-во ТПУ, 2014. — Заглавие с титульного экрана. — Электронная версия печатной публикации. — Режим доступа: из корпоративной сети ТПУ. — Системные требования: Adobe Reader..
Баланс энергии на катодном узле магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью / А. В. Юрьева [и др.] // Известия вузов. Физика научный журнал: / Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ) . — 2014 . — Т. 57, № 3 (3) . — [С. 276-280] . — Заглавие с экрана. — [Библиогр.: с. 280 (13 назв.)]. — Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса..
Блейхер, Галина Алексеевна. Анализ возможностей магнетронных распылительных систем для высокоскоростного осаждения функциональных покрытий = The analysis of magnetron sputtering systems possibilities for high-rate deposition of functional coatings / Г. А. Блейхер, В. П. Кривобоков, А. В. Юрьева // Известия вузов. Физика научный журнал: / Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ) . — 2014 . — Т. 57, № 10/3 . — [С. 104-108] . — Заглавие с экрана. — [Библиогр.: с. 108 (5 назв.)]. — Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса..
Юрьева, Алена Викторовна. Современные технологии в микроэлектронике : электронный курс / А. В. Юрьева; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Физико-технический институт (ФТИ), Кафедра водородной энергетики и плазменных технологий (ВЭПТ). — Электрон. дан.. — Томск: TPU Moodle, 2014. — Заглавие с экрана. — Доступ по логину и паролю..
Krivobokov, Valery Pavlovich. Erosion yield of metal surface under ion pulsed irradiation / V. P. Krivobokov, O. M. Stepanova, A. V. Yuryeva // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms . — 2013 . — Vol. 315 . — [P. 261-264] . — Title screen. — [References: p. 264 (10 tit.)]. — Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса..
Юрьева, Алена Викторовна. Расчет вакуумных систем : учебное пособие [Электронный ресурс] / А. В. Юрьева; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Физико-технический институт (ФТИ), Кафедра химической технологии редких, рассеянных и радиоактивных элементов (№ 43) (ХТРЭ). — 1 компьютерный файл (pdf; 3.0 MB). — Томск: Изд-во ТПУ, 2012. — Заглавие с титульного экрана. — Режим доступа: из корпоративной сети ТПУ. — Системные требования: Adobe Reader..
Юрьева, Алена Викторовна. Расчет вакуумных систем : учебное пособие / А. В. Юрьева; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ). — Томск: Изд-во ТПУ, 2012. — 111 с.: ил.. — Библиогр.: с. 102..
Исследование режимов работы дуального магнетрона / Ю. Н. Юрьев [и др.] // Известия вузов. Физика / Министерство общего и профессионального образования Российской Федерации ; Томский Госуниверситет . — 2009 . — Т. 52, № 11/2 (приложение) . — С. 227-231 . — ISSN 0021-3411 .
Тепловые и эрозионные процессы при работе магнетронных распылительных систем с неохлаждаемыми мишенями / Г. А. Блейхер [и др.] // Известия вузов. Физика / Министерство общего и профессионального образования Российской Федерации ; Томский Госуниверситет . — 2009 . — Т. 52, № 11/2 (приложение) . — С. 180-185 . — Библиогр.: с. 185 (5 назв.)..
Пат. 2371514 RU, МПК C 23 C 14/35. Дуальная магнетронная распылительная система / В. П. Кривобоков [и др.]; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ). — № 2008134254/02; заявл. 20.08.08; опубл. 27.10.09.
Расписание
