|
|
|
Лаборатория №22
|
|
|
|
|
Аксиально-симметричный вакуумно-дуговой генератор |
|
|
|
Аксиально-симметричный вакуумно-дуговой генератор с электромагнитным плазменным фильтром
|
|
Технические характеристики: Ток разряда, А | 40–300 | Степень снижения МКФ (Ti) | 102–104 | Эффективность прохождения плазменного потока (Ti), % | до 50 | Скорость нанесения покрытий, мкм/ч | до 20 |
|
|
|
|
|
|