Источник "Радуга–5" |
Режим генерации плазмы | Непрерывный ВДР |
Сорт ионов и плазмы | Ионы и плазма твердых проводящих материалов |
Ток дугового разряда, А | 90–145 |
Зарядовое состояние ионов | 1–3 |
Амплитуда импульсов ускоряющего напряжения, кВ | 20/40 |
Амплитуда тока пучка ионов в импульсе, А | до 2 |
Диаметр пучка на выходе источника, мм | 180 |
Длительность импульса ионного пучка, мкс | 400 |
Частота следования импульсов, имп/с | до 200 |
Средняя мощность ионного пучка, кВт | до 6,4 |
Скорость осаждения пленок на выходе источника (Ti), мкм/ч | до 20 |
Вакуумно-дуговой генератор плазмы |
Кол-во, шт. | 1–3 |
Ток дугового разряда, А | 70–250 |
Уменьшение МКФ в плазменном потоке при использовании ПФ (Ti), раз | до 102–103 |
Вакуумный пост |
Давление в вакуумном объеме, Па | до 0,66∙10-3 |
Предел регулирования расхода газа, мл/мин | 1–500 |
Размеры рабочей зоны вакуумной камеры, мм | Ø 1000x500 |
Число позиций и скорость перемещения планетарного механизма, шт./(об/мин) | 16/ 2–8 |
Габаритные размеры: высота, длина, ширина, мм | 2100x4270x2680 |
| |