ОСНОВНЫЕ РАЗДЕЛЫ:

  
    Направления деятельности и оборудование     
  ИМПУЛЬСНО-ПУЧКОВЫЕ ТЕХНОЛОГИИ     ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ  
  Магнетронно-распылительные системы     Осаждение пленок из газовой фазы     Плазменные источники атмосферного давления