Кафедра 23 (ныне кафедра технической физики) сформировалась вместе с организацией физико-технического факультета в 1950 г. В 1960 г. по инициативе заведующего кафедрой Ивана Арсентьевича Тихомирова была организована новая кафедра 23/21 двойного профиля, которая стала выпускать специалистов по и разделению изотопов и ядерной энергетике.
В 1960-1965 гг. были подготовлены условия и кадры для организации на базе кафедры 23/21 двух новых кафедр 21 и 23. С января 1966 г. кафедра технической физики стала функционировать самостоятельно.
На кафедре проводились и проводятся глубокие исследования фундаментального и прикладного характера по актуальным проблемам атомной промышленности и космической техники. Были созданы новые научные направления с организацией учебного процесса:

• Тонкая очистка веществ и разделение изотопов методами молекулярной физики;
• Физика и химия низкотемпературной плазмы. Лазерные, оптические и масс-спектрометрические методы диагностики плазмы;
• Плазменные процессы и технологии. Создание технологического оборудования для синтеза, переработки веществ и утилизации промышленных отходов.

Высокий уровень профессиональной подготовки выпускаемых специалистов достигается совместным использованием потенциала преподавателей кафедры и сотрудников предприятий ГК «Росатом», а также реализацией образовательного процесса на уникальной технической базе этих предприятий.
К настоящему времени кафедрой подготовлено более 1500 инженеров, 200 кандидатов и 20 докторов наук. Многие из выпускников стали крупными деятелями науки и производства.