В рамках УИРС, НИРС и НИРМ реализуются следующие тематики научных исследований:
1. Магнетронное распыление горячей мишени из карбида кремния.
2. Сильноточной магнетронное распыление горячей мишени из карбида кремния.
3. Исследование полупроводниковых свойств покрытий из карбида кремния, полученных магнетронным распылением горячей мишени.
4. Исследование возможности синтеза кристаллических покрытий из карбида кремния.
5. Влияние состава газовой смеси на структуру и состав покрытий из карбида кремния, полученных магнетронным распылением горячей мишени.
|
Расписание