РНФ №15-19-00026 «Создание оборудования и технологий высокоскоростного осаждения металлических покрытий с использованием магнетронных распылительных систем (МРС)»
РФФИ №18-38-00676 «Закономерности формирования функциональных алюминиевых покрытий при магнетронном распылении с комбинированным источником питания»
РФФИ №18-08-00454 «Исследование фундаментальных аспектов режима самораспыления при работе магнетронных распылительных систем с испаряющимися металлическими мишенями и его влияния на свойства осаждаемых покрытий»
РФФИ №20-38-90134 «Высокоскоростное реактивное магнетронное осаждение защитных покрытий на основе нитрида хрома»
Расписание