Исследование плазмы реактивного магнетронного разряда в трехкомпонентной газовой среде зондовым методом / К. Е. Евдокимов [и др.] // Приборы и техника эксперимента : научный журнал. — 2016. — № 6. — [С. 44-49]. — URL: http://elibrary.ru/item.asp?id=27256519
Расписание
