|
|
|
|
Содержание разделов дисциплины:
Раздел 1. Физические основы вакуума
В разделе рассматриваются следующие вопросы: Понятие вакуума. Средняя длина свободного пути газовых молекул при тепловом движении. Основное уравнение вакуумной техники. Понятие о степенях вакуума. Режимы течения газов по трубопроводам. Основные параметры и классификация насосов.
Темы лекций:
1. Понятие вакуума. Средняя длина свободного пути газовых молекул при тепловом движении.
2. Основное уравнение вакуумной техники.
3. Понятие о степенях вакуума. Режимы течения газов по трубопроводам.
4. Основные параметры и классификация насосов.
Названия лабораторных занятий:
1. Основные понятия вакуумной техники
Раздел 2. Механические и Физико-химические методы получения вакуума
В разделе рассматриваются следующие вопросы: Общая характеристика вакуумных насосов. Объёмная откачка, молекулярная откачка, пароструйная откачка. Примеры конструкций насосов (пластинчато-роторный, золотниковый, мембранный, спиральный насосы, молекулярный и турбомолекулярный насосы, диффузионный и трёхступенчатый диффузионный насосы).
Темы лекций:
1. Общая характеристика вакуумных насосов.
2. Примеры конструкций насосов
3. Способы получения вакуума.
Названия лабораторных занятий:
1. Параметры диффузионных насосов
2. Определение коэффициента использования механического насоса
3. Определение коэффициента использования диффузионного насоса
4. Параметры криогенных насосов
Раздел 3. Методы измерения вакуума и ловушки
В разделе рассматриваются следующие вопросы: Классификация и общая характеристика вакуумметров. Вакуумметры прямого действия: теплоэлектрические, электронные ионизационные, электроразрядные. Форвакуумные и выскоковакуумные ловушки: криоадсорбционная, низкотемпературная и механическая.
Темы лекций:
1. Вакуумметры прямого действия теплоэлектрические
2. Электронные ионизационные вакуумметры прямого действия
Названия лабораторных занятий:
1. Низкотемпературная высоковакуумная ловушка
Раздел 4. Вакуумные системы
В разделе рассматриваются следующие вопросы: Типовые схемы вакуумных систем и методика получения вакуума. Материалы и элементы вакуумных систем, технологические требования к ним. Методика расчёта вакуумных систем (проектировочный и проверочный расчёты). Пример расчёта простейшей вакуумной системы. Течеискание.
Темы лекций:
1. Типовые схемы вакуумных систем
2. Методика расчёта вакуумных систем
Названия лабораторных работ:
1. Изучение вакуумной системы
2. Получение и измерение высокого вакуума
3. Изучение технологического процесса (Напыление тонкоплёночного металлического покрытия)
4. Обнаружение течей.
|
РПД_Вакуумное оборудование плазменных и ускорительных систем
|
 |
|
|
|
|
Расписание
