РФФИ №13-08-00429 «Исследование фундаментальных аспектов диссипации энергии и переноса вещества в магнетронных распылительных системах с жидкофазными мишенями»
РФФИ №15-08-01632 «Фундаментальные свойства механизмов высокоскоростного осаждения функциональных наноструктурных покрытий с использованием плазмы магнетронных распылительных систем»
РНФ №15-19-00026 «Создание оборудования и технологий высокоскоростного осаждения металлических покрытий с использованием магнетронных распылительных систем (МРС)»
Расписание
