- Разработаны новые математические модели и компьютерные программы, описывающие тепловые, термомеханические и эрозионные процессы на поверхности твёрдого тела под действием мощных пучков заряженных частиц.
- Получены закономерности эволюции тепловых и термомеханических процессов в твёрдом теле при облучении мощными импульсными пучками заряженных частиц.
- Определены основные механизмы эрозии и исследована кинетика удаления вещества с поверхности при ее облучении импульсными пучками заряженных частиц с начальной энергией 10..1000 кэВ и плотностью мощности 106..1010 Вт/см2.
- На примере металлов получены данные о свойствах эрозии поверхности под действием мощных импульсных и остросфокусированных сканирующих пучков заряженных частиц в зависимости от параметров облучения.
- Построены математические модели и разработаны компьютерные программы, описывающие тепловые и эрозионные процессы в теплоизолированной мишени магнетронной распылительной системы; получены закономерности усиления эмиссии атомов с поверхности жидкофазных мишеней магнетронов.
|
|