SEARCH:

Горюнов Алексей Германович
Доктор технических наук

Отделение ядерно-топливного цикла, Заведующий кафедрой - руководитель отделения на правах кафедры

Тел.: 8 (3822) 60-63-41
Вн. телефон: 2331
написать сообщение
Сегодня
29 июня 2022 / Wednesday / Неделя четная
Time tableРасписание
  
    New Tab     

Результаты исследований по направлению «Компьютерное моделирование, автоматизированное управление и оптимизация производства поликристаллического кремния»:

- Результаты исследования технологического процесса парофазного химического осаждения кремния методом водородного восстановления трихлорсилана (Siemens-процесс) как объекта управления и оптимизации.

- Математическая модель Siemens-реактора как объекта управления.

- Алгоритм управления Siemens-реактором.

- Программное обеспечение для АСУ ТП производства поликристаллического кремния на установках «Водород» Завода полупроводникового кремния ФГУП «Горно-химический комбинат».

- Методика расчета радиального распределения плотности тока пульсирующей формы в цилиндрическом проводнике.

- Математическая модель нагрева стрежней основ переменным током.

- Результаты исследований радиального распределения плотности тока пульсирующей формы при различных частотах и формах импульсов, с целью определения оптимальных параметров схем источника питания.

- Технические решения по усовершенствованию программно-технических средств преобразователя тока подсистемы разогрева стержней-основ установки водородного восстановления.

- Устройство импульсного нагревания поликристаллических кремниевых стержней.