|
|
|
|
Результаты исследований по направлению «Компьютерное моделирование, автоматизированное управление и оптимизация производства поликристаллического кремния»:
- Результаты исследования технологического процесса парофазного химического осаждения кремния методом водородного восстановления трихлорсилана (Siemens-процесс) как объекта управления и оптимизации.
- Математическая модель Siemens-реактора как объекта управления.
- Алгоритм управления Siemens-реактором.
- Программное обеспечение для АСУ ТП производства поликристаллического кремния на установках «Водород» Завода полупроводникового кремния ФГУП «Горно-химический комбинат».
- Методика расчета радиального распределения плотности тока пульсирующей формы в цилиндрическом проводнике.
- Математическая модель нагрева стрежней основ переменным током.
- Результаты исследований радиального распределения плотности тока пульсирующей формы при различных частотах и формах импульсов, с целью определения оптимальных параметров схем источника питания.
- Технические решения по усовершенствованию программно-технических средств преобразователя тока подсистемы разогрева стержней-основ установки водородного восстановления.
- Устройство импульсного нагревания поликристаллических кремниевых стержней.
|
 |
|
|
|
|
Расписание
