ОСНОВНЫЕ РАЗДЕЛЫ:

<< Вернуться к списку

  
    Комплексная система ионно-плазменной обработки крупногабаритных изделий     
Комплексная система реализации гибридных технологий ионно-плазменной обработки крупногабаритных изделий

Состав и технические характеристики:
Протяженный ЭДИ с ПФ Источник ускоренных ионов проводящих материалов "Радуга–6"
Ток разряда, А 50–400 Ток пучка ионов, мA до 200
Эффективность прохождения плазменного потока (Ti) до 50 % Ускоряющее напряжение, кВ до 40
Степень очистки плазмы от МКФ 102–104 Режим генерации пучка Непрерывный
Размер катода, мм 1000x120 Ускоряющее напряжение, кВ 20/30/40
Количество, шт. до 4 Размер выходной апертуры источника, мм 600x120
Генератор газовой плазмы ПИНК Источник ионов газов
Область рабочего давления, Па 0,3–1,5 Ускоряющее напряжение, кВ 20/30/40
Ток разряда, А 3–120 Ток пучка ионов, мA до 200
Плотность ионного тока насыщения из плазмы, мА/см2 до 10 Размер выходной апертуры, мм 600x100
Рабочие газы Ar, N2, C2H2 Рабочее давление, Па (2,5–6)∙10-2
Размеры выходной апертуры, мм 460x100 Рабочие газы N2, O2, Ar
Количество, шт. 1 Поток газа, см3∙атм./мин 50–100
Среднечастотный дуальный магнетрон Высокочастотный короткоимпульсный генератор напряжения смещения
Размеры мишеней, м 900x120 Амплитуда импульсов, кВ 0,2–4
Напряжение разряда, кВ 350–1000 Частота следования, с-1 до 105
Ток разряда, А до 30 Длительность, мкс 1–9
Частота генерации разряда, с-1 4∙104 Ток в источнике, А до 20
Скорость роста покрытия, мкм/ч до 12 Коэффициент заполнения импульсов до 0,9
Количество, шт. 2
Вакуумная камера Источник постоянного потенциала смещения
Размеры рабочей камеры, м
Диаметр/Высота
1/1,3 Напряжение, кВ – (0,1–0,9)
Количество одновременно присоединяемых электрофизических устройств, шт. 6 Ток, А до 50
Тип механизма перемещения изделий Планетарный Система охлаждения
Вес размещаемых изделий, кг до 240 Число каналов охлаждения 20
Число позиций, шт. 12/24 Число каналов охлаждения 20
Частота вращения стола, об/мин 1–10 Расход воды, м3 до 15
Вакуумная система Диагностика:
Пластинчато-роторный 2НВР-250Д, л/с 63 Давление в системе охлаждения
Турбомолекулярный SPT-XA320C, л/с (N2) 3200 Расход воды в канале
Двухроторный НВД-600, л/с 50 Температура воды на выходе канала
Время достижения давления 6,6∙10-3 Па, мин 30 Система автоматизации
Остаточное давление в камере, Па 6,5∙10-3 Система управления SCADA–Infinity Lite
Система газораспределения Тип контроллера MODICON TSX QUANTUM
Регуляторы расхода газа, шт. 4 Интерфейс RS232/RS485
Кол-во смешиваемых газов, шт. 2
Диапазон расхода газа, л/ч 0,5–144 Протокол Modbus Plus
Эксплуатационные характеристики
Потребляемая мощность, кВт до 200 Число каналов ввода/вывода 100
Масса установки, т 3,5
Система диагностики
Температуры изделий: Давления в вакуумном объеме:
Пирометр "КЕЛЬВИН" Термопарный вакуумметр АТВ–2, шт. 3
Температурный диапазон, 0С 25–1000
Зарядового и массового состава плазмы: Ионизационный вакуумметр АИВ–51, шт. 2
Процентное соотношение ионов различного элементного состава и зарядового состояния