ОСНОВНЫЕ РАЗДЕЛЫ:

<< Вернуться к списку

  
    «РАДУГА 5»     
Импульсно-периодический источник ионов металлов и плазмы на основе непрерывной вакуумной дуги «РАДУГА 5»

Технические характеристики установки "Радуга–5":
Источник "Радуга–5"
Режим генерации плазмы Непрерывный ВДР
Сорт ионов и плазмы Ионы и плазма твердых проводящих материалов
Ток дугового разряда, А 90–145
Зарядовое состояние ионов 1–3
Амплитуда импульсов ускоряющего напряжения, кВ 20/40
Амплитуда тока пучка ионов в импульсе, А до 2
Диаметр пучка на выходе источника, мм 180
Длительность импульса ионного пучка, мкс 400
Частота следования импульсов, имп/с до 200
Средняя мощность ионного пучка, кВт до 6,4
Скорость осаждения пленок на выходе источника (Ti), мкм/ч до 20
Вакуумно-дуговой генератор плазмы
Кол-во, шт. 1–3
Ток дугового разряда, А 70–250
Уменьшение МКФ в плазменном потоке при использовании ПФ (Ti), раз до 102–103
Вакуумный пост
Давление в вакуумном объеме, Па до 0,66∙10-3
Предел регулирования расхода газа, мл/мин 1–500
Размеры рабочей зоны вакуумной камеры, мм Ø 1000x500
Число позиций и скорость перемещения планетарного механизма, шт./(об/мин) 16/ 2–8
Габаритные размеры: высота, длина, ширина, мм 2100x4270x2680