| Установка "Яшма" предназначена для практического обучения студентов основам технологии модифицирования физико-химических свойств поверхности твердых тел пучками ускоренных ионов и низкотемпературной плазмой. Установка оснащена шлюзом, сканирующим механизмом подачи образцов в рабочую камеру, фотометрическим "четвертьволновым" измерителем роста толщины покрытия, полуавтоматической системой контроля и управления которая берет на себя выполнение многих рутинных процедур. Для обработки поверхности образцов используется ионный источник с замкнутым дрейфом электронов, имплантер газовых ионов, трехгранный позиционируемый магнетронный блок и сменные навесные магнетроны различных конструкций. |