|
|
|
Лаборатория №22
|
|
|
|
|
Комплексная система ионно-плазменной обработки крупногабаритных изделий |
|
|
|
Комплексная система реализации гибридных технологий ионно-плазменной обработки крупногабаритных изделий
|
|
|
Состав и технические характеристики:
|
|
Протяженный ЭДИ с ПФ | Источник ускоренных ионов проводящих материалов "Радуга–6" | Ток разряда, А | 50–400 | Ток пучка ионов, мA | до 200 | Эффективность прохождения плазменного потока (Ti) | до 50 % | Ускоряющее напряжение, кВ | до 40 | Степень очистки плазмы от МКФ | 102–104 | Режим генерации пучка | Непрерывный | Размер катода, мм | 1000x120 | Ускоряющее напряжение, кВ | 20/30/40 | Количество, шт. | до 4 | Размер выходной апертуры источника, мм | 600x120 | Генератор газовой плазмы ПИНК | Источник ионов газов | Область рабочего давления, Па | 0,3–1,5 | Ускоряющее напряжение, кВ | 20/30/40 | Ток разряда, А | 3–120 | Ток пучка ионов, мA | до 200 | Плотность ионного тока насыщения из плазмы, мА/см2 | до 10 | Размер выходной апертуры, мм | 600x100 | Рабочие газы | Ar, N2, C2H2 | Рабочее давление, Па | (2,5–6)∙10-2 | Размеры выходной апертуры, мм | 460x100 | Рабочие газы | N2, O2, Ar | Количество, шт. | 1 | Поток газа, см3∙атм./мин | 50–100 | Среднечастотный дуальный магнетрон | Высокочастотный короткоимпульсный генератор напряжения смещения | Размеры мишеней, м | 900x120 | Амплитуда импульсов, кВ | 0,2–4 | Напряжение разряда, кВ | 350–1000 | Частота следования, с-1 | до 105 | Ток разряда, А | до 30 | Длительность, мкс | 1–9 | Частота генерации разряда, с-1 | 4∙104 | Ток в источнике, А | до 20 | Скорость роста покрытия, мкм/ч | до 12 | Коэффициент заполнения импульсов | до 0,9 | Количество, шт. | 2 | Вакуумная камера | Источник постоянного потенциала смещения | Размеры рабочей камеры, м Диаметр/Высота | 1/1,3 | Напряжение, кВ | – (0,1–0,9) | Количество одновременно присоединяемых электрофизических устройств, шт. | 6 | Ток, А | до 50 | Тип механизма перемещения изделий | Планетарный | Система охлаждения | Вес размещаемых изделий, кг | до 240 | Число каналов охлаждения | 20 | Число позиций, шт. | 12/24 | Число каналов охлаждения | 20 | Частота вращения стола, об/мин | 1–10 | Расход воды, м3/ч | до 15 | Вакуумная система | Диагностика: | Пластинчато-роторный 2НВР-250Д, л/с | 63 | Давление в системе охлаждения | Турбомолекулярный SPT-XA320C, л/с (N2) | 3200 | Расход воды в канале | Двухроторный НВД-600, л/с | 50 | Температура воды на выходе канала | Время достижения давления 6,6∙10-3 Па, мин | 30 | Система автоматизации | Остаточное давление в камере, Па | 6,5∙10-3 | Система управления | SCADA–Infinity Lite | Система газораспределения | Тип контроллера | MODICON TSX QUANTUM | Регуляторы расхода газа, шт. | 4 | Интерфейс | RS232/RS485 | Кол-во смешиваемых газов, шт. | 2 | Диапазон расхода газа, л/ч | 0,5–144 | Протокол | Modbus Plus | Эксплуатационные характеристики | Потребляемая мощность, кВт | до 200 | Число каналов ввода/вывода | 100 | Масса установки, т | 3,5 | Система диагностики | Температуры изделий: | Давления в вакуумном объеме: | Пирометр "КЕЛЬВИН" | Термопарный вакуумметр АТВ–2, шт. | 3 | Температурный диапазон, 0С | 25–1000 | Зарядового и массового состава плазмы: | Ионизационный вакуумметр АИВ–51, шт. | 2 | Процентное соотношение ионов различного элементного состава и зарядового состояния |
|
|
|
|
|
|