|
| ЭДИ с ПФ | Источник ионов "Радуга–5" | | Ток разряда, А | 400-300 | Ток пучка ионов, А | до 2 | | Степень снижения МКФ (Ti) | 102–104 | Ускоряющее напряжение, кВ | до 40 | | Эффективность прохождения плазменного потока (Ti), % | до 50 | Длительность/
частота импульса ускоряющего напряжения, мкс/c-1 | 400/
до 200 | | Скорость нанесения покрытий, мкм/ч | до 20 | | Количество, шт. | 4–8 | | Генератор газовой плазмы ПИНК | Высокочастотный, короткоимпульсный генератор напряжения смещения | | Концентрация плазмы, см-3 | 1010 | Амплитуда импульсов, кВ | 0-4 | | Ток разряда, А | 5–200 | Частота следования и длительность импульсов, с-1/ мкс | до 105
/ 1–9 | | Плотность тока ионов из плазмы, мА/см2 | 1–10 | Ток в источнике, А | до 20 | | Количество, шт. | 1-3 | Коэффициент заполнения импульсов | до 0,9 | | Среднечастотный дуальный магнетрон | Вакуумный пост | | Размеры мишеней, м | 0,8/1/0,1 | Объем вакуумной камеры, м3 | 0,6 | | Напряжение разряда, кВ | 0,35–1 | Остаточное давление, Па | 6,5∙10-3 | | Ток разряда, А | 1–30 | Число позиций в планетарном механизме, шт. | 16 | | Частота генерации разряда, с-1 | 4∙104 | | |
|
|
