ОСНОВНЫЕ РАЗДЕЛЫ:

  
    Вторично-ионный масс-спектрометр PHI 6300     


Производитель: Physical Electronics, США.

Назначение

Анализ элементного состава в твердых пробах различных материалов, анализ поверхности и тонких пленок, распределение элементов по глубине материала.

Технические характеристики

  • Диапазон масс 1-255 а.е.м.
  • Чувствительность до 10-7%
  • Возможность регистрации положительных или отрицательных вторичных ионов
  • Ионные источники: диаметр ионного пучка от 5 до 100 мкм
  • Цезиевая ионная пушка
    Максимальный ток пучка 700нА
    Энергия пучка от 0,5кэВ до 10 кэВ
  • Дуоплазматрон
    рабочий газ: O2
    Максимальный ток пучка 2мкА
    Энергия пучка от 0,5кэВ до 8кэВ
  • Рабочее давление вакуумной системы от 10-8 Torr при использовании дуоплазматронного ионного источника с первичным пучком ионов кислорода.
  • Сканирующая электронная пушка для получения телевизионного изображения и нейтрализации заряда Вторично-электронный детектор для позиционирования образцов.