Модифицированная установка ВЧ-магнетронного напыления 08ПХО-100T-005 с магнетронным источником.
Позволяет позволяющая получать проводящие и непроводящие покрытия различного химического состава.
Рабочая частота ВЧ-генератора 5,28 МГц.